Bewältigung der Herausforderungen bei der Dichtheitsprüfung in der Halbleiterindustrie

Bei der Herstellung von Bauteilen und Unterkomponenten in der Halbleiterindustrie (auch bekannt als "Semicon"-Industrie) kommt es auf Präzision und Genauigkeit an. In diesem Umfeld, in dem mit so kleinen und komplizierten Prozessen gearbeitet wird, gibt es wenig bis keinen Spielraum für Fehler.

Viele Prozesse müssen mit einem Höchstmaß an Kontrolle und Präzision überwacht werden, um die Qualität in der Halbleiterfertigung zu gewährleisten. Dazu gehören auch strenge Anforderungen an die Dichtheitsprüfung in einer Vielzahl von Anwendungen, wie z. B. Bühnen- und Bewegungssteuerungssysteme, Kühlsysteme, elektrische Komponenten, Dichtungen sowie Belichtungsoptiken und Sensoren.

Bewältigung der Herausforderungen einer komplexen Dichtheitsprüfung in der Halbleiterindustrie

innomatec ist stolz auf seine innovative Herangehensweise und ist stets bestrebt, bessere und kosteneffiziente Dichtheitsprüfungslösungen für sich entwickelnde Industrien, wie die Halbleiterfertigung, zu entwickeln.

innomatec hat kürzlich eine neue Lösung für die Dichtheitsprüfung eines ReMa (Reticle Masking) Systems in einer EUV/DUV-Lithographieanlage für Halbleiter entwickelt. Während in dieser Anwendung üblicherweise eine Lecksuche mit Prüfgas eingesetzt wird, hat innomatec eine neue Alternative entwickelt, bei der Luft anstelle von Prüfgas verwendet wird, wodurch eine einfachere und kostengünstigere Dichtheitsprüfung ermöglicht wird.

Sehen Sie unten, wie innomatec die Herausforderungen dieser komplexen Dichtheitsprüfung gemeistert hat.

Aufrechterhaltung der Genauigkeit und Druckkontrolle über einen längeren Zeitraum der Dichtheitsprüfung

Eine der Herausforderungen bei dieser Dichtheitsprüfung war die lange Prüfzeit - die vom Hersteller vorgegebenen Leckanforderungen verlangten eine erweiterte Dichtheitsprüfung, bei der der Druckabfall über einen Zeitraum von einer Stunde gemessen wurde. In diesem Zeitraum betrug der maximal zulässige Druckabfall nur 5-15 mbar.

Dieser begrenzte Druckabfall in Kombination mit einer langen Zykluszeit kann eine genaue Leckmessung zu einer Herausforderung machen. Das Dichtheitsprüfgerät innomatec LTC-902 SI ist jedoch in der Lage, eine hochpräzise Messgenauigkeit und Druckregelung über diesen langen Zeitraum aufrechtzuerhalten und bietet somit eine zuverlässige Dichtheitsprüfung für diese Anwendung.

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Erleichterung der schnellen Datenübermittlung während des gesamten erweiterten Prüfzyklus

Der Hersteller benötigte außerdem eine Möglichkeit, Daten zu sammeln, die belegen, dass sein Bauteil die geforderten Spezifikationen erfüllt. Die Lecktestlösung von innomatec übertraf die Erwartungen und übertraf jede andere Lösung auf dem Markt. Die Dichtheitsprüfgeräte von innomatec bieten als Option innoRC, eine Softwarefunktion, die die Fernsteuerung der innomatec Leck-Testcomputer über eine Windows-Anwendung ermöglicht.

innoRC war problemlos in der Lage, die schnelle Übertragung großer Datenmengen zu bewältigen, die während der langen Testzykluszeit von einer Stunde gesammelt wurden, um die Qualität des gesamten Prozesses mit der höchsten Zuverlässigkeit auf dem Markt zu beweisen.

Kupferfreies Design zur Verringerung des Korrosionsrisikos bei Verbindungen im Nanometerbereich

Aufgrund der im Nanometerbereich liegenden Verbindungen innerhalb der ReMa-Einheiten in Lithographie Maschinen ist ein kupferfreies Design erforderlich, um sicherzustellen, dass es zu keiner Wechselwirkung mit dem in diesen Systemen verwendeten Aluminium kommt, die zu galvanischer Korrosion führen könnte. Dies war einer der Gründe, warum bei diesen Anwendungen in der Regel auf Lecktests mit Prüfgas zurückgegriffen wurde, bei denen kein direkter Kontakt zwischen der Testmaschine und der ReMa-Einheit möglich war.

Mit dem Modell LTC-902 SI ist es innomatec gelungen, ein neues Lecktestgerät speziell für die Halbleiterindustrie zu entwickeln, das die erforderliche hohe Genauigkeit und Präzision bietet und gleichzeitig das Korrosionsrisiko in dieser Art von Anwendung ausschließt.

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innomatec verfügt über mehr als 40 Jahre Erfahrung in der Bereitstellung präziser und zuverlässiger Lecktestlösungen für sich entwickelnde Industrien und Hersteller auf der ganzen Welt, darunter die Automobilindustrie, die Elektromobilität, Wasserstoff-Brennstoffzellen und viele mehr. Mit der Weiterentwicklung der Halbleiterindustrie wird innomatec auch in Zukunft führend sein und Lösungen für zuverlässige und kostengünstige Lecktests liefern.

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